Film conforme
En micro-fabrication, un film conforme est un film qui est déposé de manière homogène sur toutes les surfaces d'un échantillon peu importe leur orientation.
Dépôts non conformes[modifier]
Un dépôt qui n'est pas conforme couvre préférentiellement les surfaces qui sont orientées vers la source du matériau déposé, un peu à la manière d'un pistolet à peinture. Les techniques de dépôt effectuées sous vide (évaporation par faisceau d'électrons, ablation laser pulsé ou pulvérisation cathodique par exemple) sont généralement non-conformes car les particules déposées ont un grand libre-parcours moyen (quelques centimètres pour la pulvérisation, plusieurs mètres pour l'évaporation). Puisqu'elles ne subissent peu ou pas de collisions entre la source et l'échantillon, elles ne peuvent se déposer que sur des surfaces visibles depuis la source.
Les dépôts chimiques à plus haute pression comme la CVD (dépôt chimique en phase vapeur) et particulièrement l'ALD (Atomic Layer Deposition) couvrent beaucoup mieux les surfaces car les espèces gazeuses diffusent dans les cavités et réagissent à la surface de celles-ci.
Notes et références[modifier]
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